Escritora

La escritora láser es la MicroWriter ML®3 que ofrece cuatro resoluciones (0,6 μm, 1 μm, 2 μm y 5 μm) que pueden ser seleccionadas automáticamente a través del software y sin que el usuario tenga que cambiar ninguna lente manualmente. Permite elaborar diseños con un área de escritura máxima de 195 mm x 195 mm. Posee cámara de microscopio óptico infinito conjugado de alta calidad, con lentes Olympus 5x, 10x y 20x e iluminación de luz amarilla para la alineación de marcadores litográficos en la oblea (± 0.5μm precisión de alineación). Rejilla direccionable mínima de 100nm; tamaño mínimo de paso de la etapa de muestra de 50nm. Trabaja con archivos en formatos CADs: CIF, BMP, TIFF y (a través de Clewin 5) GDSII.

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