Transferencia de patrones

Alineadora

Field radio: Wencel

 

La alineadora de máscara es una Midas MDA-400M que puede operar con diferentes modos de contactos (fuerte, vacío, proximidad). Permite transferir patrones a obleas de 3"- 4" de diámetro y sustratos pequeñas usando fotomáscaras cuadradas de 5" × 5”. La iluminación que utiliza es UV 365 nm. La dosis y tiempo de exposición son controlados por computadora.

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