Síntesis de recubrimientos por Sputtering
LABORATORIOS
A cargo de Laboratorio
Dr. Wencel de la Cruz
(646) 175 0650 Ext. 403
Investigadores:
- Dr. Leonel Cota
Actividades primordiales
- Crecimiento y caracterización de películas delgadas de nitruros y carburos de metales de transición mediante técnicas de pulverización catódica y depósito por vapores químico.
- Caracterización química de superficies mediante las siguientes técnicas: Espectroscopías electrónicas de electrones Auger (AES), Espectroscopías de electrones fotoemitidos (XPS) y Espectroscopías de masa de iones secundarios (SIMS)
Equipo mayor con que se cuenta
- Sistema PHI-548 (con AES y XPS)
- Sistema ECOPIA HMS-5000
- 4 Sistemas de crecimiento de películas delgadas por Sputtering.
Equipo de cómputo
5 computadoras
Líneas de investigación
Síntesis de materiales por erosión iónica para sus aplicaciones en dispositivos electrónicos y fotónicos